大阪電気通信大学 教員情報データベース >宇田 豊

機械工学科 所属教員一覧

宇田 豊(うだ ゆたか)UDA Yutaka Yutaka Uda

  • 所属部署
    工学部 機械工学科 教授
    大学院 工学研究科 制御機械工学専攻 教授
  • 専門分野
    計測工学、設計工学、生産システム工学
  • 研究テーマ
    超精密表面形状計測
    機械要素の運動誤差評価
  • URL
  • 経歴
    • 学歴
      京都大学工学部機械工学第二学科卒業(1977)
      京都大学大学院工学研究科精密工学専攻博士課程前期(1980)
      東京都立科学技術大学大学院工学研究科工学システム専攻博士後期課程(1995)
    • 職歴
      日本光学工業株式会社(現 株式会社ニコン) (1980.04~2006.03)
      大阪電気通信大学工学部機械工学科 (2006.04~現在に至る)
  • 取得学位
    工学博士(1995.03)
  • 受賞、顕彰など
    精密工学会高城賞(1998.10,2005.9)
    精密工学会技術賞(2003.10)
  • 所属学会
    精密工学会、砥粒加工学会、日本機械学会、計測自動制御学会、American Society for Precision Engineering

宇田 豊(うだ ゆたか)UDA Yutaka

  • 所属部署
    工学部 機械工学科 教授
    大学院 工学研究科 制御機械工学専攻 教授
  • 学科・学部の運営
    教職課程委員(2015年度)
    就職対策委員(2016年度)


  • 委員会、センター、研究所等の学内組織における活動

エレクトロニクス基礎研究所運営委員会(2015年度)
エレクトロニクス基礎研究所運営専門委員会(2016年度)

  • 本学と外部の産官学機関等との連携活動
    大学との共同研究 3校
    企業との共同研究 3社

  • 高大連携、オープンキャンパス、公開講座などの対外的活動


  • その他
    大阪電気通信大学生活協同組合 理事長(2011~現在に至る)

宇田 豊(うだ ゆたか)UDA Yutaka

  • 所属部署
    工学部 機械工学科 教授
    大学院 工学研究科 制御機械工学専攻 教授
  • 学部教育(講義)
    機械工学入門
    機械工学実験
    図学基礎
    機械設計製図Ⅰ
    計測工学
    メカトロニクス

  • 大学院教育(講義)
    ナノ計測工学

  • 論文等指導
    • 2016年度
    • 卒業論文等の指導: 11名
    • 修士論文等の指導:  4名

宇田 豊(うだ ゆたか)UDA Yutaka

  • 所属部署
    工学部 機械工学科 教授
    大学院 工学研究科 制御機械工学専攻 教授
  • 著書
  1. 宇田豊:“機械の環境振動とその制御”、小林昭監修「超精密生産技術体系」第2巻 実用技術、第2編4.2章、フジテクノシステム、pp.148-153, (1994)(分担執筆)
  2. 宇田豊:砥粒加工学会編「切削,研削,研磨,用語辞典」、工業調査会、形状測定機,加工面観察の顕微鏡関連の約25項目を担当, (1995)(分担執筆)
  3. 宇田豊:“インプロセス計測制御”、河野嗣男、吉田嘉太郎編「インプロセス計測・制御・加工-機械加工の高度化を目指して」、3.4章、日刊工業新聞、pp.196-215, (1997)(分担執筆)
  4. 宇田豊:“CMP加工システム[4]ニコン”、土肥俊郎、木下正治監修「最新 CMPプロセスと材料技術」、CMP関連企業の技術動向編、技術情報協会、pp.270-274, (2002)
  5. 宇田豊:“フェイスアップ方式”、土肥俊郎 木下正治監修「CMP技術大系」第2編、装置・システム技術編、第1章、1.1.3、グローバルネット、pp.253-258, (2006)(分担執筆)
  6. 西原一嘉、西原小百合、森幸治、宇田豊:「基礎から学ぶ図学と製図」、電気書院(2013)


  • 学術論文・作品など
  1. Y. Uda, T. Onuki, K. Kamigaki, M. Watakai, T. Kato and H. Hashimoto:Ultra-Precision CNC Machine for Grinding, Turning and Measuring Aspheric Component, Precision Engineering, 7, 4, pp.225-229 (1985)
  2. Y. Uda, T. Kohno, A. Morita and H. Nagano:In-Process Measurement and Workpiece-Referred Accuracy Control, Int. J. Japan Soc. Prec. Eng., 27, 4, pp.385-386 (1993)
  3. 河野嗣男、宇田豊、森田昌彦、永野浩量:インプロセス計測加工精度補償の研究(第3報),-汎用旋盤を用いた円筒切削の制御-精密工学会誌,59, 6, pp.951-955(1993)
  4. 宇田豊、河野嗣男、矢澤孝哲:インプロセス計測加工精度補償の研究(第4報), -第一参照面誤差収束と外乱除去に対する補正制御係数mの特性-,精密工学会誌, 60, 8, pp.1159-1163(1994)
  5. T. Yazawa, Y. Uda, T. Kohno:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control?Simulation of Sensor Position for Plain Turning-, Advancement of Intelligent Production, JSPE, pp.233-240 (1994)
  6. 宇田豊、河野嗣男、矢澤孝哲:インプロセス計測加工精度補償の研究(第5報)-工具‐変位計オフセット量の残留形状誤差への影響と補正制御できない特異点の除去対策-, 精密工学会誌, 61, 7, pp.976-980(1995)
  7. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa :In-Process Measurement and Workpiece-Referred Accuracy Control System (WORFAC) - Application to Cylindrical Turning Using an Ordinary Lathe-, Precision Engineering, 18, 1, pp.50-55 (1996)
  8. Y. Uda, T. Kohno, T. Yazawa, T. Suzuki and A. Soyama:Concept and Basic Study of Improvement System of Surface Roughness, Waviness and Figure Accuracy by WORFAC、J. Materials Processing Technology, 62, pp.423-426 (1996)
  9. 張世宙、清野慧、宇田豊、水戸正美:ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発, 精密工学会誌, 62, 4, pp.589-594(1996)
  10. S. Zhang, S. Kiyono, Y. Uda and M. Mito:Development of Measurement System of Angular Profile of the Polygonal Mirror Surface、Int. J. Japan Soc. Prec. Eng., 30, 4, pp.349-350 (1996)
  11. S. Kiyono, S. Zhang and Y. Uda:Self-Calibration of Precision Angle Sensor and Polygon Mirror, Measurement, 21, 4, pp.125-136 (1997)
  12. 河野慎一、河野嗣男、矢澤孝哲、宇田豊、鈴木尚:ファイバーグレーティングハルトマンテストによる鏡面形状測定-鏡面切削中におけるインプロセス計測-, 砥粒加工学会誌, 41, 5, pp.90-91(1997)
  13. 張世宙、清野慧、宇田豊:ポリゴン鏡面の角度形状と割り出し角度の走査ビーム径による変化, 精密工学会誌, 63, 8, pp.1122-1126(1997)
  14. 矢澤孝哲、河野嗣男、宇田豊、大野直弘:インプロセス計測加工精度補償の研究(第6報)-正面切削における制御開始位置と変位計配置位置の影響-, 精密工学会誌, 64, 12, pp.1806-1810 (1998)
  15. S. Zhang, S. Kiyono and Y. Uda:Nanoradian Angle Sensor and in situ Self-Calibration, Applied Optics, 37, 19, pp.4154-4159 (1998)
  16. 張世宙、高偉、馬軍山、小山直、宇田豊、清野慧:ローリングの超精密計測と制御に関する研究, 精密工学会誌, 65, 1, pp.100-105 (1999)
  17. 河野嗣男、松本大司、細越剛史、矢澤孝哲、宇田豊:ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定, 精密工学会誌, 65, 3, pp.443-446 (1999)
  18. Y. Uda, T. Ueda, T. Senga, A. Ishikawa, Y. Ushio, E. Yamamoto, S. Hoshino and A. Une:The Proposal of Digital Polishing Method for New CMP System、Advances in Abrasive Technology Ⅳ, pp.251-254 (2001)
  19. T. Kohno, D. Matsumoto, T. Hosogoe, T. Yazawa and Y. Uda:Radial Shearing Interferometer for In-Process Measurement of Diamond Turning, Optical Engineering, 39, 10, pp.1-4 (2002)
  20. 花岡浩毅、山崎 宏、宇田豊、島田 尚一、清野 慧:ソフトウェアデータムによる真円形状測定-1本の変位センサを用いる簡便な測定法の提案-, 精密工学会誌, 80, 7, pp.682-686 (2014)
  21. T. Matsuo, N. Murakami, T. Kotani, H. Kawahara, N. Natsume, M. Kino, H. Imada, M. Kurita, M. Iribe, H. Nishida, M. Kida, H. Kitou, K. Ishikawa, Y. Uda, H. Tokoro, T. Nagata, F. Iwamuro, N. Miura, S. Oya, Y. Itoh, H. Shibai, M. Tamura: High-contrast planet imager for Kyoto 4-m segmented telescope, SPIE 2014 Astronomical Telescopes+ Instrumentation, p.p.9147-67, (2014-7)
  22. 宇田 豊,玉川智之,鰀目雄大,井村諒介,島田尚一,清野 慧:逐次三点法による大型曲面形状測定法, 精密工学会誌, 82, 7, pp.683-689 (2016)
  • 国際会議プロシーディングス
  1. T. Kohno, A. Morita, N. Nagano and Y. Uda:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control, Proc. 7-ASPE Annual Meeting, pp.376-379 (1992)
  2. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa:Accuracy Improvement of Machine Tool by New Function of WORFAC、Proc. 7-IPES, pp.880-883 (1993)
  3. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control (2nd Report), Proc. 8-ASPE Annual Meeting, pp.499-502 (1993)
  4. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control (3rd Report), Proc. 9-ASPE Annual Meeting, pp.182-185 (1994)
  5. T. Kohno, T. Suzuki, T. Yazawa, Y. Uda and S. Tanaka:Fiber-Grating Hartmann Test for In-process Measurement and Machining Control of Concave Mirror, Proc. 8-IPES, pp.69-72 (1995)
  6. S. Zhang, S. Kiyono, Y. Uda and M. Mito:Development of Precision Angle Sensors and Measurement of Angular Profile of Poligonal Mirrors, Proc. ISMITII’96, pp.266-271 (1996)
  7. N. Ohno, T. Yazawa, T. Kohno and Y.Uda :Study on High Precision Cutting by Workpiece Referred Form Accuracy Control System -A Proposition of Double MTS Method -, Proc. 12-ASPE, pp.183-186 (1997)
  8. Y. Uda, T. Senga, A. Ishikawa, E. Yamamoto, T. Mitsui and S. Hoshino:Uniformity of Residual Film Thickness Obtained by Digital Polishing Method in New CMP System, Proc. euspen 3rd. International Conference, pp.301-304 (2002)
  9. S. Hoshino, Y. Kitade, N. Yashida and Y. Uda:<0.1psi Ultra Low Pressure CMP for Copper/Ultra Low-k Films, Proc. CMP-MIC, pp.212-218 (2003)
  10. S. Hoshino, Y. Uda and E. Yamamoto:Characteristics of Cu CMP Process on Ultra-Low Pressure, Proc. CMP-MIC, pp.17-22 (2004)
  11. Y. Uda, S. Hoshino, N. Yoshida and Y. Kitade:Ultra-Low Pressure Cu CMP, Proc. ICMI-5, pp.51-53 (2004)
  12. Y. Uda, T. Soma, T. Fujiwara, I. Sugaya, T. Novak, D. Watson, B. Yuan and Y. Hsin:Development of Force & Moment Control Mechanism for Rotating Parts Using Electromagnetic Force (Application of CMP Head), Proc. 19-ASPE Annual Meeting, pp.249-252 (2004)
  13. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Development of Straightness Measuring Machine for Long Parts using In-Situ Self Calibration Laser Differential Auto-Collimation ? Influence of Probe Assemble Error -, Proc. 22-ASPE Annual Meeting, (2007) To be published
  14. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Study of an interpolation of flatness data measured by successive differential laser auto-collimation, ASPE 2008 Annual Meeting ,No.23, p.603-p.606, 2008
  15. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Influence of alignment error between two laser beams on straightness measurement using in-situ differential laser auto-collimation, ASPE 2009 Annual Meeting ,No.24, p.p.442-445, (2009-10)
  16. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Self calibration of the linearity error of angle sensors for differential laser auto-collimation, ASPE 2010 Annual Meeting ,No.25, p.p.427-430, (2010-11)
  17. Hiroki Hanaoka, Hiroshi Yamazaki, Manabu Kino, Jun Hanada, Naoki Kaneko, Yutaka Uda :Precise sortomg system of rolling elements for bearing, ASPE 2011 Annual Meeting , USB, (2011-11)
  18. Y.Uda, S.Shimada, S.Kiyono : A new successive three point method of roundness measurements, ASPE 2012 Annual Meeting , USB, (2012-10)
  19. Y.Uda, S.Shimada, S.Kiyono : Influence of sensor sensitivity on roundness measurement by a new successive three point method, ASPE 2013 Annual Meeting, p.p.393-396, USB, (2013-10)
  20. Y.Uda, R.Imura, S.Shimada, S.Kiyono : Development of angle sensor with 10-7rad. resolution for differential laser auto-collimation, ASPE 2014 Annual Meeting, p.p.680-683,USB, (2014-11)
  21. T.Tamagawa, Y.Uda, S.Shimada, R.Imura : Surface Shape Measuring Machine of Large Curved Surface Applying Improved Sequential Three Point Method, ASPE 2015 Annual Meeting, p.p.457-460, USB, (2015-11)
  22. M.Nagoshi, Y.Uda, S.Shimada, S.Honda : Suppression of Tool Wear in Ultra-Precision Diamond Turning of Steel by Nitriding, ASPE 2015 Annual Meeting, p.p.435-439, USB, (2015-11)
  23. Y.Hori,Y.Uda,S.Shimada,R.Imura : A Roundness Measurement without Omission of Harmonic Components Using Data Interpolation Combined with Sequential Three Point, ASPE 2016 Annual Meeting, p.p.318-321, USB, (2016-10)
  24. Y.Natsume,T.Tamagawa, Y.Uda, S.Shimada, R.Imura : Surface Shape Measurment of Large Curved Surface Applying Improved Sequential Three-Point Method, ASPE 2016 Annual Meeting, p.p.351-354, USB, (2016-10)
  • 紀要など
  1. 宇田豊、河野嗣男:主軸の回転精度測定の高精度化に関する研究、東京都立科学技術大学研究報告, 6, pp.11-18 (1992)
  2. 島田尚一,宇田豊,本田索郎:高機能光学素子の型加工におけるダイヤモンド切削工具の損耗機構,大阪大学サイバーメディアHPCジャーナル,4,pp.33-36(2014-7)
  3. Yutaka Uda,Shoichi Shimada,Sakuro Honda:Thermo-Chemical Wear Mechanism of Diamond Cutting Tool,Activity Report 2013 / Supercomputer Center, Institute for Solid State Physics, The University of Tokyo,ISSN 2188-5001,pp.137-8(2014)
  4. Yutaka Uda,Shoichi Shimada,Sakuro Honda:Thermo-Chemical Wear Mechanism of Diamond Cutting Tool,Activity Report 2014 / Supercomputer Center, Institute for Solid State Physics, The University of Tokyo,ISSN 2188-5001,pp.138-9(2015)
  5. Yutaka Uda,Shoichi Shimada,Sakuro Honda:Thermo-Chemical Wear Mechanism of Diamond Cutting Tool,Activity Report 2015 / Supercomputer Center, Institute for Solid State Physics, The University of Tokyo,ISSN 2188-5001,pp.139(2016)
  • 解説
  1. 宇田豊:微細加工の専門集団が編み出したセンシティブかつアクティブな研磨, Electronic Journal, 83, pp.112-113 (2001)
  2. 宇田豊:新しいコンセプトCMP研磨装置「NPS2301/NPS3301」, 電子材料, 40, 3, pp.94-97 (2001)
  3. 宇田豊:新コンセプトのCMP装置NPS2301 アクティブな研磨状態制御によるローカル研磨の実現, クローンテクノロジー, 11, 10, pp.82-83 (2001)
  4. 宇田豊:ニコンのCMP装置, Electronic Journal別刷「2002半導体工場・装置・材料」, 電子ジャーナル, pp.359-361 (2002)
  5. 宇田豊:技能を感じさせないCMP装置を目指して, 精密工学会誌, 68, 1, pp.46-48 (2002)
  6. 宇田豊:CMP装置の最新の動向, 月刊トライボロジー, 192, pp.26-28 (2003)
  7. 星野進、宇田豊、山本栄一、林豊、宇根篤暢:次世代CMP装置の開発(超低圧研磨、ローカル研磨技術の開発), 精密工学会誌, 70, 6, pp.742-745 (2004)
  8. 宇田豊:ニコンのCMP装置, Electronic Journal別刷「2005半導体工場・装置・材料」, 電子ジャーナル, pp.352-354 (2005)
  • 国際会議、国内会議、発表会、コンクールなど
    • 国際会議発表
  1. T. Kohno, A. Morita, N. Nagano and Y. Uda:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control, Proc. 7-ASPE Annual Meeting, pp.376-379 (1992)
  2. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa:Accuracy Improvement of Machine Tool by New Function of WORFAC、Proc. 7-IPES, pp.880-883 (1993)
  3. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control (2nd Report), Proc. 8-ASPE Annual Meeting, pp.499-502 (1993)
  4. Y. Uda, T. Kohno and T. Yazawa:Accuracy Improvement of Machine Tool by Workpiece-Referred Control (3rd Report), Proc. 9-ASPE Annual Meeting, pp.182-185 (1994)
  5. T. Kohno, T. Suzuki, T. Yazawa, Y. Uda and S. Tanaka:Fiber-Grating Hartmann Test for In-process Measurement and Machining Control of Concave Mirror, Proc. 8-IPES, pp.69-72 (1995)
  6. S. Zhang, S. Kiyono, Y. Uda and M. Mito:Development of Precision Angle Sensors and Measurement of Angular Profile of Poligonal Mirrors, Proc. ISMITII’96, pp.266-271 (1996)
  7. N. Ohno, T. Yazawa, T. Kohno and Y.Uda :Study on High Precision Cutting by Workpiece Referred Form Accuracy Control System -A Proposition of Double MTS Method -, Proc. 12-ASPE, pp.183-186 (1997)
  8. Y. Uda, T. Senga, A. Ishikawa, E. Yamamoto, T. Mitsui and S. Hoshino:Uniformity of Residual Film Thickness Obtained by Digital Polishing Method in New CMP System, Proc. euspen 3rd. International Conference, pp.301-304 (2002)
  9. S. Hoshino, Y. Kitade, N. Yashida and Y. Uda:<0.1psi Ultra Low Pressure CMP for Copper/Ultra Low-k Films, Proc. CMP-MIC, pp.212-218 (2003)
  10. S. Hoshino, Y. Uda and E. Yamamoto:Characteristics of Cu CMP Process on Ultra-Low Pressure, Proc. CMP-MIC, pp.17-22 (2004)
  11. Y. Uda, S. Hoshino, N. Yoshida and Y. Kitade:Ultra-Low Pressure Cu CMP, Proc. ICMI-5, pp.51-53 (2004)
  12. Y. Uda, T. Soma, T. Fujiwara, I. Sugaya, T. Novak, D. Watson, B. Yuan and Y. Hsin:Development of Force & Moment Control Mechanism for Rotating Parts Using Electromagnetic Force (Application of CMP Head), Proc. 19-ASPE Annual Meeting, pp.249-252 (2004)
  13. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Development of Straightness Measuring Machine for Long Parts using In-Situ Self Calibration Laser Differential Auto-Collimation ? Influence of Probe Assemble Error -, Proc. 22-ASPE Annual Meeting, (2007) To be published
  14. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Study of an interpolation of flatness data measured by successive differential laser auto-collimation, ASPE 2008 Annual Meeting ,No.23, p.603-p.606, 2008
  15. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Influence of alignment error between two laser beams on straightness measurement using in-situ differential laser auto-collimation, ASPE 2009 Annual Meeting ,No.24, p.p.442-445, (2009-10)
  16. Y.Uda, S.Shimada, Y.Go : Self calibration of the linearity error of angle sensors for differential laser auto-collimation, ASPE 2010 Annual Meeting ,No.25, p.p.427-430, (2010-11)
  17. Y.Uda, S.Shimada, S.Kiyono : A new successive three point method of roundness measurements, ASPE 2012 Annual Meeting , USB, (2012-10)
  18. Y.Uda, S.Shimada, S.Kiyono : Influence of sensor sensitivity on roundness measurement by a new succesive three point method, ASPE 2013 Annual Meeting, p.p.393-396, (2013-10)
  19. T. Matsuo, N. Murakami, T. Kotani, H. Kawahara, N. Natsume, M. Kino, H. Imada, M. Kurita, M. Iribe, H. Nishida, M. Kida, H. Kitou, K. Ishikawa, Y. Uda, H. Tokoro, T. Nagata, F. Iwamuro, N. Miura, S. Oya, Y. Itoh, H. Shibai, M. Tamura: High-contrast planet imager for Kyoto 4-m segmented telescope, SPIE 2014 Astronomical Telescopes+ Instrumentation, p.p.9147-67, (2014-7)
  20. Y.Uda, R.Imura, S.Shimada, S.Kiyono : Development of angle sensor with 10-7rad. resolution for differential laser auto-collimation, ASPE 2014 Annual Meeting, p.p.680-683, USB, (2014-11)
  21. T.Tamagawa, Y.Uda, S.Shimada, R.Imura : Surface Shape Measuring Machine of Large Curved Surface Applying Improved Sequential Three Point Method, ASPE 2015 Annual Meeting, p.p.457-460, USB, (2015-11)
  22. M.Nagoshi, Y.Uda, S.Shimada, S.Honda : Suppression of Tool Wear in Ultra-Precision Diamond Turning of Steel by Nitriding, ASPE 2015 Annual Meeting, p.p.435-439, USB, (2015-11)
  23. Y.Hori,Y.Uda,S.Shimada,R.Imura : A Roundness Measurement without Omission of Harmonic Components Using Data Interpolation Combined with Sequential Three Point, ASPE 2016 Annual Meeting, p.p.318-321, USB, (2016-10)
  24. Y.Natsume,T.Tamagawa, Y.Uda, S.Shimada, R.Imura : Surface Shape Measurment of Large Curved Surface Applying Improved Sequential Three-Point Method, ASPE 2016 Annual Meeting, p.p.351-354, USB, (2016-10)
  • 国内学会発表
  1. 垣野義昭,高橋泰千,山田卓郎,藤原彰彦,三木敏雄,宇田豊,高性能ころがり軸受主軸の試作とその評価,昭和56年精機学会春季大会学術講演会論文集,pp.928-939 (1981-3)
  2. 橋本洋,宇田豊,小貫哲治,伊東博,加藤登樹雄,渡海正敏,神垣恵治,超精密加工・測定機の開発,昭和60年度精機学会春季大会学術講演会論文集,pp.887-888(1985-3)
  3. 森田晶彦,河野嗣男,永野浩量,宇田豊,加工面基準法によるインプロセス計測制御-普通旋盤の加工精度向上-,1992年度精密工学会秋季大会講演論文集,pp.791-792 (1992-9)
  4. 矢澤孝哲,宇田豊,河野嗣男,小泉征史,加工面基準法によるインプロセス計測制御(第2報)-外乱除去に対する補正制御係数mの特性-,1993年度精密工学会春季大会講演論文集,pp.467-468 (1993-3)
  5. 宇田豊,河野嗣男,矢澤孝哲,小泉征史,加工面基準法によるインプロセス計測制御(第3報)-残留誤差収束に対する補正制御係数mの特性-,1993年度精密工学会春季大会講演論文集,pp.469-470 (1993-3)
  6. 宇田豊,河野嗣男,矢澤孝哲,加工面基準法によるインプロセス計測制御(第4報)-補正制御できない特異点の除去対策-,1993年度精密工学会秋季大会講演論文集,pp.657-658 (1993-9)
  7. 矢澤孝哲,宇田豊,河野嗣男,加工面基準法によるインプロセス計測制御(第5報)-平面切削におけるセンサ取り付け位置による補正特性-,1993年度精密工学会秋季大会講演論文集,pp.659-660 (1993-9)
  8. 矢澤孝哲,上野滋,宇田豊,河野嗣男,インプロセス計測を用いた新しい加工実験装置の開発,1994年度精密工学会春季大会講演論文集,pp.863-864 (1994-3)
  9. 矢澤孝哲,宇田豊,河野嗣男,大野直弘,加工面基準法によるインプロセス計測制御(第6報)-平面切削における補正特性の誤差形態による変化-,1995年度精密工学会春季大会講演論文集,pp.75-76 (1995-3)
  10. 矢澤孝哲,大野直弘,河野嗣男,宇田豊,加工面基準法によるインプロセス計測制御(第7報)-WORFACの球面加工への適応-,1995年度精密工学会秋季大会講演論文集,pp.375-376 (1995-9)
  11. 大野直弘,河野嗣男,矢澤孝哲,菅野知明,宇田豊,加工面基準法によるインプロセス計測制御-D-MTSによる平面全体への加工制御-,1997年度精密工学会春季大会講演論文集,pp.605-606 (1997-3)
  12. 矢澤孝哲,山崎俊文,河野嗣男,菅野知明,大野直弘,宇田豊,加工面基準法によるインプロセス計測制御-基準面参照制御加工法による加工基準面法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-,1997年度精密工学会秋季大会講演論文集,pp.565 (1997-9)
  13. 宇田豊,千賀達也,石川彰,山本栄一,三井貴彦,ディジタル研磨方法の開発-ステップ揺動パターンへの適応-,2001年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集,pp.417(2001-9)
  14. 宇田豊,島田尚一,清野慧,多点法によるゼロ点誤差の補正法,精密工学会北海道支部50周年記念学術講演会講演論文集,pp.73-74 (2009-9).
  15. 宇田豊,島田尚一,清野慧,真円形状測定と逐次三点法,2010年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.7-8 (2010-9).
  16. 宇田豊,島田尚一,清野慧,逐次三点法による真円形状測定―新しいプローブ間隔の決め方―,2010年度精密工学会九州支部熊本地方講演会講演論文集,pp.133-1334 (2010-12)
  17. 宇田豊,島田尚一,清野慧,角度計の線形誤差の自律的校正,2011年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.71-72 (2011-9).
  18. 花岡浩毅,山崎宏,宇田豊,島田尚一,清野慧,逐次二点法によるロータリーエンコーダの自律校正,2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集,pp.427-428 (2012-3).
  19. 宇田豊,島田尚一,平面度測定用角度検出器の非線形誤差の自律的校正,2012年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集,pp.16-17 (2012-8).
  20. 宇田豊,島田尚一,清野慧,逐次三点法による真円度測定-変位計取付誤差の影響-,2012年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.1-2 (2012-9).
  21. 宇田豊,島田尚一,清野慧,逐次三点法による真円度測定 第二報-変位計感度誤差の影響-,2013年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,B-16 (2013-8).
  22. 本田索郎,足立和俊,上田順弘,榮川元雄,山口勝巳,宇田豊,島田尚一,鉄系材料の超精密切削加工におけるダイヤモンド工具の摩耗抑制-被削材の窒化処理による摩耗抑制効果-,2014年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,pp.497-498 (2014-3).
  23. 宇田豊,島田尚一,清野慧,差動オートコリメーション法に用いる角度センサーの開発,2014年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集, (2014-8).
  24. 玉川智之,宇田豊,島田尚一,井村諒介,逐次3点法による大型光学素子の形状測定機の開発,2014年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,pp.823-824 (2014-9).
  25. 玉川智之,鰀目雄大,宇田 豊,島田尚一,清野 慧,井村諒介,逐次3点法による大型曲面形状測定機の開発(第1報 零点誤差の補正方法の原理),2015年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.29-30 (2015-8).
  26. 鰀目雄大,玉川智之,宇田 豊,島田尚一,清野 慧,井村諒介,逐次3点法による大型曲面形状測定機の開発(第2報 零点誤差補正方法の実験による確認),2015年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.57-58 (2015-8).
  27. 堀 祐也,宇田 豊,島田尚一,清野 慧,井村諒介,逐次3点法による真円度測定(第3報 内挿による測定周波数の拡大),2015年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.93-94 (2015-8).
  28. 名越将大,本田索郎,宇田豊,島田尚一,精細金型用鋼の超精密切削加工におけるダイヤモンド工具の長寿命化,2015年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.21-22 (2015-8).
  29. 南部 光平,宇田豊,島田尚一,光学ガラスの精研削における超砥粒砥石の研削性能評価,2015年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.61-62 (2015-8).
  30. 玉川智之,鰀目雄大,宇田豊,島田尚一,井村諒介,逐次三点法による大型曲面の形状測定法,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,pp.43-44 (2016-3).
  31. 堀 祐也,宇田 豊,島田尚一,清野 慧,井村諒介,逐次三点法による真円度測定-工作機械上での計測-,2016年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.11-12 (2016-8).
  32. 名越将大,本田索郎,宇田豊,島田尚一,窒化処理した精細金型用鋼のるダイヤモンド切削加工-工具寿命の伸長と仕上げ面粗さの向上-,2016年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.37-38 (2016-8).
  33. 南部 光平,宇田豊,島田尚一,3点固定砥粒加工による真円度の向上-シミュレーションによる検討-,2016年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.73-74 (2016-8).
  34. 鰀目雄大,玉川智之,宇田 豊,島田尚一,清野 慧,井村諒介,逐次三点法による曲面形状測定器の開発-曲面拡大の試み-,2016年度精密工学会北海道支部学術講演会講演論文集,pp.75-76 (2016-8).
  • 外部資金の獲得、特許・著作権等の知財権の取得など
    • 科学研究費補助金の獲得
  1. 「その場校正差動レーザオートコリメーション法二次元形状測定機の開発研究」 研究代表者、若手スタートアップ、(平成18,19年度)
  2. 「光干渉計技術の応用による太陽系外惑星探査用高コントラスト光学系の研究」 研究分担者、基盤研究(B)、(平成25、26、27年度)
  • 海外登録特許
  1. Y. Uda, T. Kikuchi:Electrical Coil Assembly Having a Plurality of Coils Arranged in Pairs 登録番号 US6002320 (1999/12/14)
  2. Y. Uda, T. Kikuchi:Electrical Coil Assembly Having a Plurality of Coils Arranged in Pairs 登録番号 US 6121867 (2000/9/19)
  3. T. Kikuchi, M. Totsu, K. Ono, Y. Uda:Linear motor device, stage device, and exposure apparatus 登録番号 US 6590355 (2003/7/8)
  4. Y. Hayashi, Y. Uda:Polishing Apparatus, Semiconductor Device Manufacturing Method Using the polishing apparatus, and Semiconductor device manufactured by the manufacturing method 登録番号US6857950 (2005/2/22), TW 575475(2004/2/11)
  5. S. Hoshino, Y. Uda, I. Sugaya:Polishing element, CMP polishing device and production method for semiconductor device can satisfy both "wafer global removal uniformity" and "local pattern flatness" 登録番号 CN1224082(2005/10/19), TW537845(2003/6/21)
  • 海外公開特許
  1. 磁界発生装置 出願番号9118 (US) (1998. 1)
  2. 研磨装置、これを用いた半導体デバイスの製造方法及びこの製造方法により製造された半導体デバイス 出願番号2002-7017255 (KR) (2001. 5)
  3. 研磨体、CMP研磨装置及び半導体デバイス製造方法 出願番号2003-7007085 (KR) (2002. 7)
  4. 研磨体、CMP研磨装置及び半導体デバイス製造方法 出願番号467627 (US) (2002. 7)
  5. 研磨体、CMP研磨装置及び半導体デバイス製造方法 公開番号CN1494734A (CN) (2002. 7)
  6. 研磨体、CMP研磨装置及び半導体デバイス製造方法 公開番号1408538 (EP) (2002. 7)
  7. 研磨装置 公開番号200401687 (TW) (2003. 7)
  8. 研磨装置、研磨方法、半導体デバイス製造方法 公開番号200500170 (TW) (2004. 2)
  9. WAFER POLISHING CONTROL SYSTEM FOR CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION MACHINES 公開番号20050221736 (US) (2004. 3)
  • 国内登録特許
  1. 山口政男,郷泰幸,板津武士,島田尚一,宇田豊,清野慧:校正装置及び真直形状測定装置,特許5252649 (2013-4-26)
  2. 山口政男,郷泰幸,島田尚一,宇田豊,清野慧:センサホルダ及びセンサ指示装置,特5280890 (2013-5-31)
  3. 島田尚一,宇田豊,清野慧,測定装置:特5600730 (2014-8-22)
  4. 島田尚一,宇田豊,清野慧,郷泰幸:加工装置,特6037510 (2016-11-11)
  5. 島田尚一,宇田豊,清野慧,郷泰幸:測定装置,特6072591 (2017-1-13)
  • 国内公開特許
  1. 無接触回転動力伝導装置 公開番号S59-058259 (1982. 9)
  2. 高精度切削加工法および切削加工装置 公開番号H06-079582 (1992. 9)
  3. 高精度切削加工法および切削加工装置 公開番号H07-080751 (1993. 9)
  4. 回転精度測定システム 公開番号H09-280819 (1996. 4)
  5. 凹面鏡の形状測定装置及びインプロセスにおける凹面 鏡の形状測定方法 公開番号H09-257439 (1996. 3)
  6. 真直度測定方法 公開番号H10-009852 (1996. 6)
  7. コイル 公開番号H10-032117 (1996. 7)
  8. 磁界発生装置、該装置の製造方法およびリニアモータ装置 公開番号H10-208927 (1997.01)
  9. インプロセスにおける凹面鏡の形状測定装置 公開番号H10-267629 (1997. 3)
  10. 干渉計を用いた形状測定方法 公開番号H10-332350 (1997. 5)
  11. 干渉縞検出装置 公開番号H10-332328 (1997. 5)
  12. コイル巻線装置及び巻線方法 公開番号2000-060102 (1998. 8)
  13. コイル及びその製造方法、並びに、コイルの製造装置 公開番号2001-820755 (1999. 9)
  14. リニアモータ、並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置 公開番号2001-086725 (1999. 9)
  15. 電磁力モータおよび電磁力モータ 公開番号2001-103727 (1999.9)
  16. リニアモータ装置、これを用いたステージ装置、露光装置、リニアモータの駆動方法、ステージ駆動方法 公開番号2001-119916 (1999.10)
  17. コイルの製造方法およびコイル製造装置ならびに電磁モータ、露光装置およびデバイスの製造方法 公開番号2001-178108 (1999.12)
  18. 研磨装置、これを用いた半導体デバイスの製造方法及びこの製造方法により製造された半導体デバイス 公開番号2002-100593 (2000. 9)
  19. 研磨面観測装置及び研磨装置 公開番号22002-178257 (2000.12)
  20. 研磨装置、半導体デバイス製造方法及び半導体デバイス 公開番号2002-217153 (2001. 1)
  21. 研磨装置、この研磨装置を用いた半導体デバイス製造方法及びこの半導体デバイス製造方法により製造された半導体デバイス 公開番号2002-246343 (2001.02)
  22. 研磨装置、この研磨装置を用いた半導体デバイス製造方法及びこの半導体デバイス製造方法により製造された半導体デバイス 公開番号2002-343748 (2001. 5)
  23. 研磨装置 公開番号2002-200553 (2001. 8)
  24. 研磨工具、研磨装置、半導体デバイス及び半導体デバイス製造方法 公開番号2003-086549 (2001.9)
  25. 研磨装置、研磨方法、半導体デバイス及び半導体デバイス製造方法 公開番号2003-229388 (2002.2)
  26. 研磨体、CMP研磨装置及び半導体デバイスの製造方法 公開番号2003-809362 (2002. 7)
  27. 研磨体、この研磨体を備えた研磨装置、この研磨装置を用いた半導体デバイス製造方法及びこの半導体デバイス製造方法により製造された半導体デバイス 公開番号2004-074314 (2002. 8)
  28. 研磨装置、研磨方法、半導体デバイス及び半導体デバイス製造方法 公開番号2004-265950 (2003.2)
  29. 真空チャック、研磨装置、露光装置、及び半導体デバイスの製造方法 公開番号2005-032959 (2003.7)
  30. 研磨装置 公開番号WO2004012249 PC出願 (2003. 7)
  31. 使い捨て研磨パッドプレート、アダプタ、ケース、CMP研磨装置、研磨パッドプレートの取り付け方法、及び研磨パッドプレートの取り外し方法 公開番号2005-322879 (2004.11)
  32. 清野慧,島田尚一,宇田豊,多点プローブの零点誤差関連値記録装置,特願2007-205341(2007-8-7)
  33. 清野慧,島田尚一,宇田豊,多点プローブの零点誤差の変動検出方法,特願2007-205342(2007-8-7)
  34. 島田尚一,宇田豊,清野慧,校正装置及び測定装置,特願2010-035065 (2010-2-19).
  35. 島田尚一,宇田豊,清野慧,測定装置,特願2012-286552 (2012-12-18).
  36. 島田尚一,宇田豊,清野慧,郷 泰幸 加工装置,特願2013-081100 (2013-4-9).
  37. 島田尚一,宇田豊,清野慧,郷 泰幸 加工装置,特願2013-081101 (2013-4-9).
  38. 宇田豊,島田尚一,清野慧,測定装置及び測定システム,特願2015-031304 (2015-2-20).
  39. 島田尚一,宇田豊,清野慧,測定方法,特願2015-063746 (2015-3-26).
  40. 宇田豊,玉川智之,島田尚一,清野慧,井村諒介,測定装置,特願2015-159334 (2015-8-12).
  41. 宇田豊,鰀目雄大,島田尚一,清野慧,井村諒介,測定方法,特願2017-01919 (2017-2-6).
  • 学会等における活動(学術集会の組織、雑誌編集など)
  1. 砥粒加工学会 編集委員会(1992~1993)
  2. 砥粒加工学会 論文査読委員(1992~現在に至る)
  3. 精密工学会事業企画委員会(1994~2000)
  4. 砥粒加工学会 賛助会員会(1997~2006)

宇田 豊(うだ ゆたか)UDA Yutaka

  • 所属部署
    工学部 機械工学科 教授
    大学院 工学研究科 制御機械工学専攻 教授
  • 地域社会における貢献


  • 公的機関等における委員・役員など


  • 学会等の財団法人・社団法人における組織運営
  1. 精密工学会 評議員(2000~2002)
  2. 精密工学会 理事 (2002~2006)
  3. 精密工学会関西支部商議員(2010~現在に至る)
  4. 砥粒加工学会 評議員(1999~2010)
  5. 砥粒加工学会関西支部 幹事(2007~現在に至る)

  • 国内外における災害救助活動、NPO 活動など
  1. NPO精密科学技術ネットワーク 理事(2003~2010)
  2. NPOウェアラブル環境情報ネット推進機構(2005~現在に至る)

  • その他

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